靶材宽度58,100,110,127,135,150,200mm
冷却方式：直接，间接冷却
磁场强度：普通，强磁
磁场类型：平衡，非平衡，高利用率，高溅射速率
适用电源：DC/Pulsed-DC/MF/RF(RF需说明)
特点：
1.高靶材利用率>40%，大大降低靶材费用
2.宽靶面刻蚀，减少靶面打火
3.磁钢不泡水，长阴极寿命
4.优化阴极冷却系统，最高使用温度可达到450℃
5.阴极冷却主动报警装置，降低阴极烧毁风险
6.可开发定制，提供阴极2D/3D图纸，方便设计人员选型
功能：用于各类金属和非金属靶材的溅射沉积.
