规格：
靶材外径：70mm, 100mm, 152mm
安装方式：背包外装式，插入侧装式
磁场发散角：标准，较小
磁场强度：普通，强
特点：
端头部分：
• 端头内部绝缘处理，外露件不导电;
• 端头绝缘采用PEEK材质，保证端头强度与绝缘性能;
• 端头采用大电流电刷，保证阴极大电流稳定工作;
• 接线电缆直接与电刷连接，提高导电效果;
• 端头密封轴喷涂超高硬度涂层，超长密封寿命;
• 进口定制油封，大大延长油封寿命;
磁棒部分：
• 磁钢自身多重涂层防护;
• 磁钢与水隔离，根源上杜绝失效风险;
• 高靶材利用率：70%-80%;
• 多重检测，磁场均匀性优于+/-2%;
• 磁场均匀性可调节，400-1500Gauss
• 磁场强度可根据要求定制：300-1000Gs;
• 磁场发散角小：更多靶材沉积到基片上。
