在这一工艺中，组件在真空室中进行清洁，然后由辐射加热器进行加热。 通过调节工艺温度和压力，使组件上面的污染物全部蒸发掉。
在这一工艺中，使用侧流式风机吹干工件。 气流的流量和压力是影响干燥度的关键因素。 气流的温度也影响干燥处理的有效性。
在这一工艺中，首先排出洗濯室中的空气。 加压注入流体清洗(16 巴)还可以清洁隐藏的空心通道和凹陷部分。
通过真空干燥，可以使镗盲孔、狭窄的润滑通道甚至内部通道等难以清理的部位得到完全干燥，空隙或曲面不会残余任何水分。 在这一工艺中，在洗濯室中产生真空。 当压力下降到低于要清除的液体的蒸气压力时，液体会蒸发，从而达到部件干燥的目的。
蒸发的大部分蒸气进入真空泵上面的冷凝液分离器中。 空气中残余的蒸气由真空泵去除。 根据部件的污脏程度，采用水或溶剂洗涤剂。 在某些情况下，需要使用通过 ATEX 认证的真空泵来清除可能具有爆炸性质的溶剂洗涤剂。
